近日，应材料与化学工程学院和河南省表界面科学重点实验室邀请，中科院电工研究所韩立研究员、中科院微电子研究所张庆钊副研究员来校进行学术交流。期间，两位专家分别为材料与化学工程学院部分师生做了相关领域的学术报告。
韩立研究员报告的题目为“电子光学介绍及应用”。他讲述了电子光学、电子束曝光技术、计量型电子显微镜、电子光学制造技术及电镜中的一些拓展技术等。同时，他旁征博引，分析了电子光学方面的技术应用与发展前景。最后，他对现场师生提出的“电子束曝光对刻蚀材料有什么特殊要求”等问题作了精彩的回答，赢得了阵阵掌声。
张庆钊副研究员报告的题目为“微细加工技术和设备”。他介绍了微电子设备技术研究室的发展情况，指出了微细加工技术的重要性，从“微细”、“加工”、“技术”三方面详细介绍了什么是微细加工技术，并从中引出了微细加工技术的热点应用领域。最后，他介绍了该技术所用到的设备与工艺：等离子体刻蚀设备、等离子化学沉积设备及物理溅射沉积技术。
学术交流期间，两位专家考察了材料与化学工程学院和河南省表界面科学重点实验室，表达了进一步加强科研合作的意愿。
